苏州源展材料科技

产品名称： Ta(NMe2)5

CAS号： 19824-59-0

分子式：C10H30N5Ta

分子量：401.33

外观：orange

稳定性：moisture sensitive

安全技术说明书

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recent research

Reaction mechanisms of atomic layer deposition of TaNx from Ta(NMe2)5 precursor and H2-based plasmas

Atomic layer deposition of TaN and Ta3N5 using pentakis(dimethylamino)tantalum and either ammonia or monomethylhydrazine

Developments of TaN ALD Process for 3D Conformal Coatings

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